这次轮到了清大副校长，科学院院士黎朔教授。 “终于到我了，我只问江南同学一个有关光源的小问题。” 黎朔教授缓缓开口，问了一个与他本专业有关的问题。 “众所周知，极紫外光刻需要功率极高、稳定性极佳的135纳米波长的等离子体光源。现在国际主流是采用高功率二氧化碳激光轰击锡滴靶材产生等离子体，但其中涉及到了复杂的激光靶材相互作用、等离子体调控和碎片管理难题，转化效率和稳定性是公认的世界级瓶颈。” 涉及专业问题，黎朔教授语气严肃。 “既然光刻机从头到尾是西北研究所独立研，那大家是如何解决这个关键问题的？以及我很好奇，在提升光源功率和延长光镜寿命方面，你个人认为团队最大的创新点是什么？” 虽然观众并不明白这些...